Atomic layer deposition of high-k dielectrics on carbon nanoparticles
vastutusandmed
Aile Tamm, Anna-Liisa Peikolainen, ..., Mihkel Koel, ... [et al.]
allikas
ajakirja aastakäik number kuu
538
ilmumisaasta
leheküljed
p. 16-20 : ill
võtmesõna
ISSN
0040-6090
märkused
Bibliogr.: 15 ref
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise
Tamm, A., Peikolainen, A.-L., Koel, M. et al. Atomic layer deposition of high-k dielectrics on carbon nanoparticles // Thin solid films (2013) 538, p. 16-20 : ill.