täiskirje prindi

Growth dynamics of nanocrystalline diamond films produced by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition in methane/hydrogen/air mixture : scaling analysis of surface morphology

autor
vastutusandmed
V. Podgursky, A. Bogatov, V. Sedov, I. Sildos, A. Mere, M. Viljus, J.G. Buijnsters, V. Ralchenko
allikas
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 58
ilmumisaasta
leheküljed
p. 172-179 : ill
leitav
ISSN
0925-9635
märkused
Bibliogr.: 26 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
keel
inglise
Podgurski, V., Bogatov, A., Sedov, V., Sildos, I., Mere, A., Viljus, M., Buijnsters, J., Ralchenko, V. Growth dynamics of nanocrystalline diamond films produced by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition in methane/hydrogen/air mixture : scaling analysis of surface morphology // Diamond and related materials (2015) Vol. 58, p. 172-179 : ill. https://doi.org/10.1016/j.diamond.2015.07.002