Growth dynamics of nanocrystalline diamond films produced by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition in methane/hydrogen/air mixture : scaling analysis of surface morphology
autor
Buijnsters, J. G.
vastutusandmed
V. Podgursky, A. Bogatov, V. Sedov, I. Sildos, A. Mere, M. Viljus, J.G. Buijnsters, V. Ralchenko
allikas
kirjastus/väljaandja
ajakirja aastakäik number kuu
Vol. 58
ilmumisaasta
leheküljed
p. 172-179 : ill
ISSN
0925-9635
märkused
Bibliogr.: 26 ref
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
keel
inglise
klassifikaator
kvartiil
kategooria (üld)
Podgurski, V., Bogatov, A., Sedov, V., Sildos, I., Mere, A., Viljus, M., Buijnsters, J., Ralchenko, V. Growth dynamics of nanocrystalline diamond films produced by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition in methane/hydrogen/air mixture : scaling analysis of surface morphology // Diamond and related materials (2015) Vol. 58, p. 172-179 : ill.