Understanding and control of stress at Si-SiO2 interface

autor
Medvids, Arturs
Vitusevich, Svetlana
vastutusandmed
Daniel Kropman, Viktor Seeman, Arturs Medvids, Pavels Onufrijevs, Svetlana Vitusevich, Valdek Mikli
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 850
ilmumisaasta
leheküljed
p. 291−296
märksõna
ISSN
1662-9795
märkused
Bibliogr.: 6 ref
keel
inglise
Kropman, D., Seeman, V., Medvids, A., Onufrijevs, P., Vitusevich, S., Mikli, V. Understanding and control of stress at Si-SiO2 interface // Key engineering materials (2020) vol. 850, p. 291−296.