Understanding and control of stress at Si-SiO2 interface
autor
Medvids, Arturs
Vitusevich, Svetlana
vastutusandmed
Daniel Kropman, Viktor Seeman, Arturs Medvids, Pavels Onufrijevs, Svetlana Vitusevich, Valdek Mikli
allikas
ajakirja aastakäik number kuu
vol. 850
ilmumisaasta
leheküljed
p. 291−296
märksõna
võtmesõna
ISSN
1662-9795
märkused
Bibliogr.: 6 ref
TTÜ struktuuriüksus
keel
inglise
Kropman, D., Seeman, V., Medvids, A., Onufrijevs, P., Vitusevich, S., Mikli, V. Understanding and control of stress at Si-SiO2 interface // Key engineering materials (2020) vol. 850, p. 291−296.